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Tag Archives: EUV

AGC、EUVマスクブランクスの生産能力を従来比30%増強へ

AGCは、2023年4月27日、子会社のAGCエレクトロニクスの本宮工場で生産を行うEUV露光に用いられるフォトマスクブランクスについて、生産能力を増強することを発表した。 生産能力を増強するラインは、2024年1月から…

AMAT、EUVリソグラフィの生産性を高める新装置を発表

米Applied Materials(AMAT)社は、2023年2月28日、EUVリソグラフィ工程を簡素化し、生産性を高めることができる新装置「Centura Sculpta」を発表した。現在、EUVの解像限界を超える微…

ASML、22年12月期2Q売上高は前年比35%増

オランダASML Holdings社は2022年7月20日、2022年12月期第2四半期(2022年4月〜6月)業績を発表した。同期売上高は54億3,100万ユーロで、前年度同期比35.1%増、前期比53.7%増となった…

Intel、ASMLと高NA EUVシステムの量産化で提携

米Intel社と蘭ASML Holdings社は2022年1月19日、高NAのEUVリソグラフィシステムによる2025年の量産開始を目標に提携を強化することを発表した。IntelはASMLの高NA EUVリソグラフィシス…

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