AGCは、2023年4月27日、子会社のAGCエレクトロニクスの本宮工場で生産を行うEUV露光に用いられるフォトマスクブランクスについて、生産能力を増強することを発表した。

生産能力を増強するラインは、2024年1月から稼働を開始し、その後は段階的に増強を行うことで、2025年には現在の生産能力の30%増となる見込み。

今回の生産能力増強は、経済産業省の「サプライチェーン対策のための国内投資促進事業費補助金」の採択事業となっており、投資金額の一部を国が負担する。

EUV露光のための主要材料であるマスクブランクスも、日本メーカーが強く、HOYAとAGCで市場を寡占しており、AGCはHOYAに次ぐ2番手となっているが、ＡＧＣは「ガラス材料」から「コーティング」までを一貫して手掛けることができる、世界で唯一のEUVマスクブランクスメーカーであることが強みとなっている。

AGCでは、2025年のマスクブランクス事業の売上高を400億円以上に引き上げる目標を掲げている。