2024年9月24日、半導体向け検査装置大手のレーザーテックは、SiCウエーハ向けの欠陥検査装置「SICA108」を製品化したことを発表した。この装置は従来機である「SICA88」から検査光学系を刷新し、スループットのさ…
Written on 10月 7, 2024 at 2:24 PM, by global-admin
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Tags: SiC, レーザーテック
レーザーテックは4月30日、2024年6月期の第3四半期の決算を発表した。これによると、売上高は前期比30.5%増、前年同期比155.7%増の622億1,300万円、営業利益は前期比22.7%増、前年同期比182%増の2…
Written on 5月 7, 2024 at 6:14 PM, by global-admin
Tags: マスク欠陥検査装置, レーザーテック, 決算
半導体検査装置を手掛けるレーザーテックは11月24日、High NA EUVリソグラフィに対応するEUVパターンマスク欠陥検査装置ACTIS「A300」シリーズを発表した。 同社ではこれまでに、EUVリソグラフィに対応す…
Written on 12月 5, 2023 at 1:37 PM, by global-admin
Tags: EUV, フォトマスク, レーザーテック, 半導体検査装置
レーザーテックは2022年2月25日、新しい研究開発拠点として土地、建物を取得することを決定した。新施設は敷地面積が約1万5,830m²、建物延床面積は約2万8,822m²。取得金額は約167億円。外部に分散保有していた…
Written on 3月 1, 2022 at 12:57 PM, by global-admin
Tags: レーザーテック
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