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Tag Archives: EUVマスクブランクス

AGC、EUVマスクブランクスの生産能力を従来比30%増強へ

AGCは、2023年4月27日、子会社のAGCエレクトロニクスの本宮工場で生産を行うEUV露光に用いられるフォトマスクブランクスについて、生産能力を増強することを発表した。 生産能力を増強するラインは、2024年1月から…