東京大学の伊藤佑介講師らとAGCによる研究グループは6月12日、ガラスなどの加工の難しい材料を、従来の100万倍高速で、かつ精密に加工する技術を開発した。これにより、ガラス基板の高速・精密加工が可能となる。 次世代半導体…
Written on 6月 23, 2025 at 7:18 PM, by global-admin
No Comments
Categories: GNCレター, 記事一覧
Tags: AGC, ガラス, ガラスコア基板, 東京大学
AGCは、2023年4月27日、子会社のAGCエレクトロニクスの本宮工場で生産を行うEUV露光に用いられるフォトマスクブランクスについて、生産能力を増強することを発表した。 生産能力を増強するラインは、2024年1月から…
Written on 5月 1, 2023 at 2:42 PM, by global-admin
Tags: AGC, EUV, EUVマスクブランクス
AGCのグループ会社であるAGC エレクトロニクスは、今後EUV露光用のフォトマスクブランクスの供給体制を大幅に増強すると発表した。2020年10月より工場建屋の拡張工事を開始し、2022年より増強分の生産を開始する予定…
Written on 7月 27, 2020 at 4:03 PM, by global-admin
Tags: AGC, EUV, フォトマスク