AGCは、2023年4月27日、子会社のAGCエレクトロニクスの本宮工場で生産を行うEUV露光に用いられるフォトマスクブランクスについて、生産能力を増強することを発表した。 生産能力を増強するラインは、2024年1月から…
Written on 5月 1, 2023 at 2:42 PM, by global-admin
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AGCのグループ会社であるAGC エレクトロニクスは、今後EUV露光用のフォトマスクブランクスの供給体制を大幅に増強すると発表した。2020年10月より工場建屋の拡張工事を開始し、2022年より増強分の生産を開始する予定…
Written on 7月 27, 2020 at 4:03 PM, by global-admin
Tags: AGC, EUV, フォトマスク