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先端半導体における洗浄プロセスの最新動向と課題

開催日時 : 2025/03/14 13:30 ~ 17:00

半導体業界では、2nm以下の微細化が進む中、ウェットプロセス技術の高度化が求められています。 本セミナーでは、GAA(Gate-All-Around)以降の前工程における洗浄プロセス、CMP後洗浄に求められる技術、先端半導体パッケージにおけるプラズマ技術と応用について、専門家が最新の知見を解説いたします。

受講料 : 28,000円(税別)~
講師 : 山口 佑 氏(株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ)、竹下 寛 氏(三菱ケミカル株式会社 )、辨野 宏 氏(パナソニックコネクト株式会社)
会場 : 連合会館(新御茶ノ水駅より徒歩0分)