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Tag Archives: 半導体製造装置

東京エレクトロン、新型プローバを発表

東京エレクトロンは2021年8月30日、300mm対応ウェーハプローバPrecioシリーズの後継機種として、300mm対応次世代ウェーハプローバPrexaの販売を開始することを発表した。Prexaは、Precio シリー…

東京エレクトロン、21年3月期1Q売上高は44%増

東京エレクトロンは2021年8月16日、2021年度(2022年3月期)第1四半期(2021年4〜6月)業績を発表した。同期の全社売上高は前年度同期比43.6%増の4,520億4,900万円、営業利益は同92.0%増の1…

ローツェ、ベトナムに新工場建設

ローツェは2021年8月3日、グループの生産拠点であるベトナム工場(RORZE ROBOTECH CO.,LTD.)に新工場RORZE ROBOTECH A10を建設することを発表した。 敷地面積は約10,000㎡、延床…

アルバック、サブnm平坦化用イオンミリング装置を発売

アルバックは2021年7月30日、イオンミリング装置「IM-2000」の販売を8月から開始することを発表した。同装置は、5G高周波フィルター向けの、SAW、BAWデバイス上に成膜されたシリコン酸化膜(SiO2)、シリコン…

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