Tag Archives: フォトマスク

レーザーテック、次世代EUVに対応するパターンマスク欠陥検査装置、ACTIS A300を発表

半導体検査装置を手掛けるレーザーテックは11月24日、High NA EUVリソグラフィに対応するEUVパターンマスク欠陥検査装置ACTIS「A300」シリーズを発表した。同社ではこれまでに、EUVリソグラフィに対応す…

Written on 12月 5, 2023 at 1:37 PM, by global-admin

三井化学と旭化成は2022年5月22日、三井化学が旭化成のペリクル事業を取得することで合意したことを発表した。三井化学は、旭化成のペリクル事業を吸収分割により包括的に承継し、ペリクルの製造を請負う旭化成EMS株式会社（従…

Written on 5月 31, 2022 at 10:49 AM, by global-admin

HOYAと中国BOEグループ傘下のBeijing BOE Vision Electronic Technology社（BOEVT）は2021年10月22日、中国にFPDフォトマスク製造のための合弁会社を設立する契約を締結…

Written on 10月 25, 2021 at 6:37 PM, by global-admin

AGCのグループ会社であるAGC エレクトロニクスは、今後EUV露光用のフォトマスクブランクスの供給体制を大幅に増強すると発表した。2020年10月より工場建屋の拡張工事を開始し、2022年より増強分の生産を開始する予定…

Written on 7月 27, 2020 at 4:03 PM, by global-admin