AGCのグループ会社であるAGC エレクトロニクスは、今後EUV露光用のフォトマスクブランクスの供給体制を大幅に増強すると発表した。2020年10月より工場建屋の拡張工事を開始し、2022年より増強分の生産を開始する予定…
Written on 7月 27, 2020 at 4:03 PM, by global-admin
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Tags: AGC, EUV, フォトマスク
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