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キヤノン、KrF露光装置のアップデートを発売

キヤノンは、KrF露光装置「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプションである「Grade 10」を2022年8月上旬に発売する。この「FPA-6300ES6a」は、最初に発売されたのは2012年4月だったが、継続…

Written on 6月 15, 2022 at 9:59 AM, by global-admin

経済産業省は、2021年3月23日、「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」内の「研究開発項目②先端半導体製造技術の開発（助成）」実施者の公募を行い、実施体制が決定した。今回採択された事業は、先端半導体製造プ…

Written on 3月 25, 2021 at 10:54 AM, by global-admin

キヤノンは2020年11月15日、第6世代のガラス基板サイズ（1,500×1,850mmサイズ）に対応したFPD向け露光装置の新製品として、高精細化が求められている次世代の中小型ディスプレイ向けに解像力1.2μm（L／S…

Written on 11月 24, 2020 at 10:04 AM, by global-admin

キヤノンは2020年10月26日、2020年度第3四半期（2020年7月〜9月）業績を発表した。半導体、FPD用露光装置を含む産業機器事業の業績は、売上高が前年度同期比6.9％減の1,533億円、営業利益が同49.8％増…

Written on 11月 10, 2020 at 9:36 AM, by global-admin