キヤノンは、KrF露光装置「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプションである「Grade 10」を2022年8月上旬に発売する。

この「FPA-6300ES6a」は、最初に発売されたのは2012年4月だったが、継続的に生産性向上オプションを発売することで、メーカーの要望に応えてきた。

今回のGrade-10では、露光ステージや基板搬送系の駆動を高速化することで露光時間と基板搬送時間を短縮し、毎時300枚という業界最高水準のスループットを達成している。また、キヤノンの半導体露光装置で初となるニューラルネットワークを用いたステージ制御システムを導入し、高速駆動にともない発生する振動を軽減して高い精度を維持する。さらに、重ね合わせ精度オプションを併用することで、高生産性と重ね合わせ精度4nm（シングルマシンオーバーレイ精度）の両立を可能にしている。

今回のアップグレードは、これまで発売されてきた「FPA-6300ES6a」にも適用が可能となる。

また、キヤノンでは今後、2023年には同装置の200mm基板向けにも展開を行うとしている。