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Tag Archives: KrF露光装置

キヤノン、KrF露光装置のアップデートを発売

キヤノンは、KrF露光装置「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプションである「Grade 10」を2022年8月上旬に発売する。 この「FPA-6300ES6a」は、最初に発売されたのは2012年4月だったが、継続…