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Tag Archives: リソグラフィ

DNP、回路線幅10ナノメートルのナノインプリント用テンプレートを開発

大日本印刷(DNP)は、半導体の回路パターン形成に使用するナノインプリントリソグラフィ(NIL)向けに、回路線幅10nmのテンプレートを開発したと発表した。1.4nm世代相当のロジック半導体にも対応し、NAND型フラッシ…

Lam ResearchとJSR、半導体製造技術の発展で提携

米半導体製造装置大手のLam Researchと半導体材料を手掛けるJSR及びその米国子会社のInpriaは9月15日、次世代半導体製造に向けた非独占的なクロスライセンス契約と協業に合意したと発表した。 協業により両社は…

キヤノン、ナノインプリントリソグラフィ装置を米半導体コンソーシアムに初出荷

キヤノンは9月26日、次世代半導体製造装置であるナノインプリントリソグラフィ(NIL)装置「FPA-1200NN2C」を米国テキサス州の半導体コンソーシアム「Texas Instititute for Electroni…

ナガセケムテックス、国内初となるフォトリソグラフィ現像液の回収及び、再生を事業化へ

半導体材料大手のナガセケムテックス株式会社とその親会社である大手商社の長瀬産業、そして米国のレジスト現像液製造大手のSachem Inc.は、半導体製造に使用される高純度現像液(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド:通称…

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