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Tag Archives: リソグラフィ

ASML、シリコンバレーに最新鋭R&D施設を建設

オランダASML Holdings社は2021年8月20日、米カリフォルニア州のシリコンバレーの新しい研究開発(R&D)施設をオープンした。建設面積は21万2,500ft²で、クラス1000のクリーンルーム(面積2万4,…

TEL、ASML、imecと次世代リソグラフィシステムで連携

東京エレクトロン(TEL)は2021年6月8日、オランダVeldhoven(フェルドホーフェン)にある「imec-ASML joint high NA EUV research laboratory」(imec-ASML…

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