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ナガセケムテックス、国内初となるフォトリソグラフィ現像液の回収及び、再生を事業化へ

半導体材料大手のナガセケムテックス株式会社とその親会社である大手商社の長瀬産業、そして米国のレジスト現像液製造大手のSachem Inc.は、半導体製造に使用される高純度現像液(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド:通称…