Tag Archives: 洗浄装置

半導体製造装置メーカー、韓国・SEMESは10月21日、韓国初のプラズマタイプの半導体ドライ洗浄装置「PURITAS」を開発し、量産に突入すると発表した。 同装置は半導体回路の微細化、高集積化に伴い、工程の限界がある既存…

韓国・YC Chemは7月1日、同社が新事業として開発を進めていた半導体洗浄装置を国内のウエハメーカーに初出荷したと明らかにした。 同社は元々、フォトレジストやフォトマスク現像液、洗浄液、CMPスラリーなどを製造する半導…

SCREENセミコンダクターソリューションズは2022年12月7日、高生産性と微細なパーティクルの除去性能を高めた新型枚葉式半導体洗浄装置「SU-3400」を発売した。 「SU-3400」は、「SUシリーズ」の安定した洗…