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Tag Archives: 洗浄装置

韓国の材料メーカー、YC Chemが半導体洗浄装置を開発し、初出荷

韓国・YC Chemは7月1日、同社が新事業として開発を進めていた半導体洗浄装置を国内のウエハメーカーに初出荷したと明らかにした。 同社は元々、フォトレジストやフォトマスク現像液、洗浄液、CMPスラリーなどを製造する半導…

SCREEN、生産性30%向上の新型洗浄装置を発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは2022年12月7日、高生産性と微細なパーティクルの除去性能を高めた新型枚葉式半導体洗浄装置「SU-3400」を発売した。 「SU-3400」は、「SUシリーズ」の安定した洗…