半導体製造装置メーカー、韓国・SEMESは10月21日、韓国初のプラズマタイプの半導体ドライ洗浄装置「PURITAS」を開発し、量産に突入すると発表した。 同装置は半導体回路の微細化、高集積化に伴い、工程の限界がある既存…
Written on 10月 21, 2024 at 6:49 PM, by global-admin
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韓国・サムスン電子の子会社で半導体製造装置を手掛けるSEMESは6月24日、それまで全て輸入に頼っていたフッ化アルゴンイマージョン（ArF-i）フォトプロセス用トラック装置「オメガプライム」を韓国内で初めて量産化したと発…
Written on 7月 2, 2024 at 11:24 AM, by global-admin
Tags: SEMES, コータ・デベロッパ, 韓国半導体