SCREENセミコンダクターソリューションズは2022年12月7日、高生産性と微細なパーティクルの除去性能を高めた新型枚葉式半導体洗浄装置「SU-3400」を発売した。
「SU-3400」は、「SUシリーズ」の安定した洗浄処理性能を継承しながら、洗浄処理チャンバを小型化し、6段タワー構造の新プラットフォームを採用することにより、従来装置「SU-3300」と同じ24台のチャンバを搭載しながらも、フットプリントを30％削減した。さらに、ウェーハ搬送機構を刷新することで、最大毎時1,200枚（300mmウェーハ）の実用処理能力を実現している。生産性を30％向上させている。
また、洗浄ノズルの改良により従来よりも小さなゴミを取り除けるようにし、薬液の使用効率を高めた。さらに効率的な薬液循環システムにより、薬液の使用量を大幅に節減できる他、全自動気流制御による排気流量削減など、装置使用時の環境負荷を20％も低減している。