Tag Archives: 露光装置

ニコンは2022年3月24日、多様な高精細パネルの生産が可能な、第8世代基板サイズ（2,200mm×2,500mm）に対応したFPD露光装置「FX-88S」を発売した。 「FX-88S」には、第6世代基板対応の「FX-6…

半導体露光装置最大手の蘭ASMLは、1月3日、1月2日夜にドイツのベルリン工場で火災が発生したことを発表した。2日夜中に鎮火し、けが人は報告されたいない。 この火災の影響によって、同社はベルリン工場の一部を閉鎖することと…

ニコンは2021年10月18日、新しいArF液浸スキャナ「NSR-S636E」の開発を進めていることを発表した。「NSR-S636E」は、改良した高機能アライメントステーション「inline Alignment Stat…

リソグラフィ装置大手の蘭ASML Holdings社は2021年10月20日、2021年度第3四半期（2021年7月〜9月）業績を発表した。同期売上高は52億4,100万ユーロで、前年度同期比32.4％増、前期比30.4…