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Tag Archives: 露光装置

ASML、ベルリンの部品生産工場で火災

半導体露光装置最大手の蘭ASMLは、1月3日、1月2日夜にドイツのベルリン工場で火災が発生したことを発表した。2日夜中に鎮火し、けが人は報告されたいない。 この火災の影響によって、同社はベルリン工場の一部を閉鎖することと…

ニコン、新ArF液浸スキャナの開発と新ウエハ検査装置を発表

ニコンは2021年10月18日、新しいArF液浸スキャナ「NSR-S636E」の開発を進めていることを発表した。「NSR-S636E」は、改良した高機能アライメントステーション「inline Alignment Stat…

ASML、21年度3Q売上高は前年度比32%増

リソグラフィ装置大手の蘭ASML Holdings社は2021年10月20日、2021年度第3四半期(2021年7月〜9月)業績を発表した。同期売上高は52億4,100万ユーロで、前年度同期比32.4%増、前期比30.4…

ASML、21年度1Q売上高は前年度比79%増

オランダASML Holding社は2021年4月21日、2021年度第1四半期(2021年1月〜3月)業績を発表した。同期売上高は前年度同期比78.8%増の43億6,390万ユーロとなった。このうちシステム販売の売上高…

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