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Tag Archives: 露光装置

ニコン、新ArF液浸スキャナの開発と新ウエハ検査装置を発表

ニコンは2021年10月18日、新しいArF液浸スキャナ「NSR-S636E」の開発を進めていることを発表した。「NSR-S636E」は、改良した高機能アライメントステーション「inline Alignment Stat…

ASML、21年度3Q売上高は前年度比32%増

リソグラフィ装置大手の蘭ASML Holdings社は2021年10月20日、2021年度第3四半期(2021年7月〜9月)業績を発表した。同期売上高は52億4,100万ユーロで、前年度同期比32.4%増、前期比30.4…

ASML、21年度1Q売上高は前年度比79%増

オランダASML Holding社は2021年4月21日、2021年度第1四半期(2021年1月〜3月)業績を発表した。同期売上高は前年度同期比78.8%増の43億6,390万ユーロとなった。このうちシステム販売の売上高…

ASML、20年通期売上高は前年比18%増

オランダASML Holdings社は2021年1月20日、2020年12月期第4四半期(2020年10月〜12月)および2020年度通期(2020年1月〜12月)業績を発表した。 2020年第4四半期の売上高は前年度同…

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