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Tag Archives: 露光装置

ASML、22年度1Q売上高は前年度比19%減

オランダの半導体露光装置世界最大手 ASML Holdings社は2022年4月20日、2022年12月期第1四半期(2022年1月〜3月)業績を発表した。ベルリン工場の火災の影響により、同期売上高は35億3,400万ユ…

ニコン、第8世代の高精細パネル対応FPD露光装置を発売

ニコンは2022年3月24日、多様な高精細パネルの生産が可能な、第8世代基板サイズ(2,200mm×2,500mm)に対応したFPD露光装置「FX-88S」を発売した。 「FX-88S」には、第6世代基板対応の「FX-6…

ASML、ベルリンの部品生産工場で火災

半導体露光装置最大手の蘭ASMLは、1月3日、1月2日夜にドイツのベルリン工場で火災が発生したことを発表した。2日夜中に鎮火し、けが人は報告されたいない。 この火災の影響によって、同社はベルリン工場の一部を閉鎖することと…

ニコン、新ArF液浸スキャナの開発と新ウエハ検査装置を発表

ニコンは2021年10月18日、新しいArF液浸スキャナ「NSR-S636E」の開発を進めていることを発表した。「NSR-S636E」は、改良した高機能アライメントステーション「inline Alignment Stat…

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