半導体露光装置最大手の蘭ASMLは、1月3日、1月2日夜にドイツのベルリン工場で火災が発生したことを発表した。2日夜中に鎮火し、けが人は報告されたいない。

この火災の影響によって、同社はベルリン工場の一部を閉鎖することとなった。閉鎖期間の見通しなどには言及されておらず、閉鎖の影響を正確に見極める為には今後数日を要するとしている。

このベルリン工場ではEUV露光装置に使用されるウエハクランプやミラーブロック等を生産しており、今後の供給の影響が懸念される。