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Tag Archives: TEL

東京エレクトロン、ウエハ接合プロセス向けレーザエッジトリミング装置を発売

東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ/デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、…

東京エレクトロンの新中期計画、2027年3月期売上高3兆円超を目指す

東京エレクトロンは2022年6月8日、2023年3月期から5年間を対象とする中期経営計画を発表した。2019年5月に発表した中期経営計画では、2024年3月期までに売上高2兆円、営業利益率30%以上、ROE30%以上とい…

TEL、ASML、imecと次世代リソグラフィシステムで連携

東京エレクトロン(TEL)は2021年6月8日、オランダVeldhoven(フェルドホーフェン)にある「imec-ASML joint high NA EUV research laboratory」(imec-ASML…