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Tag Archives: ウエハ接合

SCREENホールディングス、ニコンからウエーハ接合技術の研究開発事業を譲受

半導体製造装置を手掛けるSCREENホールディングス(以下SCREEN)は2025年10月31日、ニコンのウエーハ接合技術に関する研究開発技術を2025年9月30日付で譲受したと発表した。 半導体先端パッケージ分野では、…

東京エレクトロン、ウエハ接合プロセス向けレーザエッジトリミング装置を発売

東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ/デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、…