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Tag Archives: ウエハ接合

東京エレクトロン、ウエハ接合プロセス向けレーザエッジトリミング装置を発売

東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ/デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、…