東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ／デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、高度なレーザ制御ユニットを融合させた装置。レーザ制御技術を用いることで、加工中に純水を用いないドライプロセスにより、高品質な割断面、高精度で高速なエッジトリミング加工を可能としている。さらに純水使用量の削減、低発塵化および廃水量の削減など環境面でも改善も進んでいる。また、ウエハ接合後にエッジトリミング加工をおこなうため、トリミング加工前後の工程数削減を実現することが可能となっている。