東京エレクトロンは2022年6月8日、2023年3月期から5年間を対象とする中期経営計画を発表した。2019年5月に発表した中期経営計画では、2024年3月期までに売上高2兆円、営業利益率30％以上、ROE30％以上という中核目標を挙げていた。この目標を2年前倒しして達成したことから、新たな計画を策定した。
今後も半導体製造装置市場が継続的な成長が見込まれることから、新計画における財務目標として、2027年3月期までに売上高3兆円以上、営業利益率35％以上、ROE（自己資本利益率）30％以上を設定した。新規半導体製造装置売上高は2兆3,000億円以上を目指す。
同社はこの計画達成のため、以下のような取り組みを進めるとした。
・高付加価値の最先端技術を有する製品と最良の技術サービスを提供。
・今後の成長機会を最大限取り込むために積極的な成長投資を継続し、5年間で1兆円以上の研究開発費を投入。
・世界最大の出荷実績（納入済み装置8万2,000台）を生かしたフィールドソリューション（FS）事業（サービス、パーツ・リペア、改造など）の強化。成熟世代向け装置も含めてFS事業は2027年3月期で6,500億円以上の売上高を目指す。
・データ､AIを活用した生産性および付加価値の向上
・業界における持続可能なサプライチェーン構築に向けた活動の推進。
・2050年に向けた長期環境目標を改定し、ネットゼロを宣言
・安全・社員エンゲージメントなど、継続的な企業価値の向上に関する重要指標を設定