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東京エレクトロン、高精細FPD向けに新エッチング装置を発売

東京エレクトロン(TEL)は2021年3月10日、第6世代(1500×1850ｍｍ)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800…

Written on 3月 15, 2021 at 3:07 PM, by global-admin

東京エレクトロンは2021年1月14日、次世代エッチング装置向けプラットフォームEpisode ULの販売開始を発表した。 Episode ULは、4チャンバから12チャンバまでフレキシブルに搭載チャンバ数を選択すること…

Written on 1月 18, 2021 at 6:50 PM, by global-admin

東京エレクトロンは2020年10月29日、2021年3月期の第2四半期（2020年7〜9月）、上期（2020年4月〜9月）業績を発表した。第2四半期の全社売上高は前年度同期比21.0％増の3,533億円、営業利益は同22…

Written on 11月 17, 2020 at 9:32 AM, by global-admin

東京エレクトロンは2020年7月28日、2020年度第1四半期（2020年4月〜6月）業績を発表した。全社業績は、売上高が前年度同期比45.5％増の3,148億2,300万円、営業利益は同73.6％増の738億4,900…

Written on 8月 25, 2020 at 12:17 PM, by global-admin