東京エレクトロンは、製造子会社の東京エレクトロンテクノロジーソリューションが、山梨県韮崎市の穂坂事業所に開発棟を建設することを発表した。半導体需要の拡大に対応するためであると説明している。新棟は地上4階、地下1階を備え、建設費は110億円としている。

この新規に建設される開発棟では、成膜装置、ガスケミカルエッチング装置などの半導体製造装置、パターニング技術およびプロセスインテグレーションの開発を実施する。

2021年9月に着工し、2023年春の竣工を予定している。