東京エレクトロンは2021年1月14日、次世代エッチング装置向けプラットフォームEpisode ULの販売開始を発表した。

Episode ULは、4チャンバから12チャンバまでフレキシブルに搭載チャンバ数を選択することが可能となっている。最大搭載チャンバ数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバ当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能である。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上している。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサや高速制御システムを搭載することで、同社独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御を可能にしている。このような技術の搭載により、ユーザの生産性向上に貢献するプラットフォームとなっている。