Tag Archives: ウシオ電機

ウシオ電機は8月5日、半導体先端パッケージ向けのステッパ露光装置「UX-59113」の開発目途が立ち、2026年度中に市場に投入する予定であると発表した。 「UX-5」シリーズは、パネルサイズに対応したステージを用いた半…

ウシオ電機は1月16日、新たな環境規制物質として注目されているPFAS(有機フッ素化合物)のうち、代表的な物質であるPFOS(ペルフルオロオクタンスルホン酸)、PFOA(ペルフルオロオクタン酸)を、触媒や添加物を使用せず…

ウシオ電機は2022年5月11日、最先端ICパッケージ基板の需要増に対応するため、分割投影露光装置「UX-5シリーズ」の生産能力増強に向けての設備投資を決定した。投資額は35億円で、クリーンルームの新設、設備導入に向けら…