ウシオ電機は2022年5月11日、最先端ICパッケージ基板の需要増に対応するため、分割投影露光装置「UX-5シリーズ」の生産能力増強に向けての設備投資を決定した。投資額は35億円で、クリーンルームの新設、設備導入に向けられる。設備の建設場所は検討中。
今回の投資は2019年及び2021年に続くものとなる。2021年発表の計画では、15億円をかけて2021年度上期から御殿場事業所の増強を開始、2022年度上期中には、生産能力を従来の1.3倍以上に引き上げる予定。今回の投資により、24年度中に生産能力をさらにそこから2倍に拡大する計画である。