オランダの半導体露光装置世界最大手 ASML Holdings社は2022年4月20日、2022年12月期第1四半期（2022年1月〜3月）業績を発表した。ベルリン工場の火災の影響により、同期売上高は35億3,400万ユーロで前年度同期比で19.0％減、前期比29.1％減となった。前年割れとなったが、当初見込みのレベルは達成している。受注額は前期に続いて70億ユーロとなり、依然生産能力を大きく上回っている。前年度同期比では47.2％増となっている。
営業利益は7億8,400万ユーロとなり、前年度同期比半減、前期比61.4％減となった。純利益は6億9,500万ユーロで、前年度同期比47.8％減、前期比60.8％減となった。いずれも売上減少が影響している。
同期における装置売上高は22億8,700万米ドル。製品別の構成比率は、EUVが26％、ArF液浸が47％、ArF（ドライ）が6％、KrFが12％、i線が2％、検査評価装置が7％となった。光源別の売上台数では、EUVが3台、ArF液浸が18台、ArFが6台、KrFが26台、i線が9台。新品装置売上高は154台で中古装置は9台であった。プリケーション別売上高はメモリが11億3,300ユーロ、ロジックが11億5,400万ユーロ、サービス／パーツなど設置装置向け事業の売上高は12億4,700万ユーロとなった。
2022年度第2四半期の売上高は51億〜53億ユーロ、通期では前期比20％増と予想している。