オランダASML Holdings社は2020年5月28日、複数の電子ビーム（EB）を使い、5nm以降の最先端プロセスノードに対応したマルチビーム・ウェーハ欠陥検査装置「HMI-eScan1000」の開発、テストを終え、…
Written on 6月 1, 2020 at 6:30 PM, by global-admin
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Tags: ASML, 検査装置
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