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Tag Archives: 検査装置

リガク、次世代半導体向けに非破壊X線分析装置を本格量産開始

リガクは2025年8月26日、最先端半導体の製造プロセスに対応した全反射蛍光X線(TXRF)分析装置「XHEMIS TX-3000」の販売を開始したと発表した。従来モデルと比べて最大6倍の高速処理を実現するという。 同社…

堀場製作所、韓国のウエーハ検査装置メーカを買収

堀場製作所は2025年4月7日、韓国でウエーハ検査装置を手掛けるEtaMaxを買収したと発表した。韓国の完全子会社を通じ、4月3日までに全株式を取得した。買収金額は非公開だが、30億円程度とみられる。次世代パワー半導体で…

レーザーテック 20年6月期決算、業績は絶好調

レーザーテックは2020年6月期の決算を8月5日に発表した。 売上高は前年比47.9%増の425億7200万円、営業利益は前年比89.6%増の150億6200万円と、共に過去最高となり、大幅増となった。2019年に発表し…

ASML,新型マルチビーム検査システムを出荷

オランダASML Holdings社は2020年5月28日、複数の電子ビーム(EB)を使い、5nm以降の最先端プロセスノードに対応したマルチビーム・ウェーハ欠陥検査装置「HMI-eScan1000」の開発、テストを終え、…