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Tag Archives: 配線材料

米Applied Materials、RuとCoを用いて微細化を2nm以降に進める新プロセスを発表

半導体製造装置大手、米Applied Materialsは7月8日、銅配線の2nm以降へと微細化する革新的なチップ配線技術を開発したと発表した。Low-k絶縁材料の改良とルテニウム(Ru)とコバルト(Co)を使った業界初…