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Tag Archives: 研究成果

東京理科大学、住友電気工業、東京大学の共同研究チーム、高品質な次世代半導体材料「ScAlN薄膜」を汎用スパッタ法で作製、高性能デバイス開発に道

東京理科大学、住友電気工業、東京大学からなる共同研究チームは、次世代半導体材料として注目される「窒化スカンジウムアルミニウム(ScAlN)薄膜」を、汎用性の高いスパッタ法を用いて高品質で作製することに成功したと発表した。…

北海道大学とSCREENの共同研究、半導体洗浄時のナノ構造物の倒壊メカニズムを解明

北海道大学低温科学研究所の木村勇気准教授らの研究Grと、SCREENホールディングスは、半導体洗浄時におけるナノ構造物の倒壊挙動を明らかにしたことを発表した。 これまで、半導体洗浄時のナノ構造物の倒壊は液体の表面張力によ…

東北大ら、機能性と耐久性を両立した量子ビット材料を発見

東北大学大学院理学研究科及び、スピントロニクス国際共同大学院らによる研究グループは7月21日に、量子コンピュータ構築に向けての課題となっている、強いスピン※1 軌道相互作用と長いコヒーレンス※1 時間両立を達成した新たな…