レーザーテックは2020年6月期の決算を8月5日に発表した。

売上高は前年比47.9％増の425億7200万円、営業利益は前年比89.6％増の150億6200万円と、共に過去最高となり、大幅増となった。2019年に発表した世界初の検査光源にEUV光を採用したアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置が業績を牽引した。

レーザーテックでは、半導体プロセスの微細化に伴い、今後もEUVパターンマスク、EUVマスクブランクス欠陥検査装置が好調に推移するとして、2021年6月期の売上高を今期比33.9%増の570億円、営業利益を12.8%増の170億円と見込んでいる。また、今年度も引き続き研究開発費を20年度から34億円引当て、引き続き高い競争力を維持していくと見られる。