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Tag Archives: 後工程露光

ニコン、初の半導体後工程向けデジタル露光装置の受注開始

ニコンは2025年7月16日、同社初の半導体後工程向け露光装置「DSP-100」の受注を2025年7月から開始すると発表した。L/S(ライン/スペース)1.0μmという高解像度かつ1時間当たり50パネルという高生産性を両…

旭化成、AIサーバー向けに微細配線対応の感光性ドライフィルムを開発

化学品大手の旭化成は、2025年5月26日、AIサーバーなどの最先端半導体パッケージ製造工程において使用される新規感光性ドライフィルム「サンフォート™ TAシリーズ」を開発したことを発表した。この新製品は、急成長する次世…