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Tag Archives: 半導体製造装置

ローツェ、ベトナムに新工場建設

ローツェは2021年8月3日、グループの生産拠点であるベトナム工場(RORZE ROBOTECH CO.,LTD.)に新工場RORZE ROBOTECH A10を建設することを発表した。 敷地面積は約10,000㎡、延床…

アルバック、サブnm平坦化用イオンミリング装置を発売

アルバックは2021年7月30日、イオンミリング装置「IM-2000」の販売を8月から開始することを発表した。同装置は、5G高周波フィルター向けの、SAW、BAWデバイス上に成膜されたシリコン酸化膜(SiO2)、シリコン…

21年5月の半導体製造装置売上高、北米、日本ともに好調続く

SEMIと日本半導体製造装置協会(SEAJ)が北米半導体製造装置企業と日本製半導体製造装置の2021年5月売上高(3ヵ月移動平均)を発表した。 同月の北米半導体製造装置企業の売上高は35億8,840万米ドルで、前年同月比…

AMAT、3nmノード以降対応の新配線プロセス技術を発表

米Applied Matrials(AMAT)社は2021年6月16日、3nmノード以降の先端ロジックに対応する新しい配線プロセス技術として「Endura Copper Barrier Seed IMS」と呼ばれる新しい…

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