東京エレクトロンは2021年8月30日、300mm対応ウェーハプローバPrecioシリーズの後継機種として、300mm対応次世代ウェーハプローバPrexaの販売を開始することを発表した。Prexaは、Precio シリーズの多くの技術を継承するとともに、最新鋭の光学系を搭載し新アルゴリズムにより、エラーアシスト削減と高精度コンタクトを実現している。また、各種セットアップなどオペレーションの自動化機能の拡充、プローブカード針先やプローブマークの高速インスペクション機能、といった新しい先進機能と特長を搭載することで、従来のPrecioシリーズより高い生産性を実現しているとした。またPrexaプラットフォームでは、デバイステスト中の温度制御や、メモリ向けのステージ高荷重制御も可能となっている。