東京エレクトロンは2021年8月16日、2021年度（2022年3月期）第1四半期（2021年4〜6月）業績を発表した。同期の全社売上高は前年度同期比43.6％増の4,520億4,900万円、営業利益は同92.0％増の1,417億9,100万円、純利益は同77.8％増の1,003億6,300万円となった。
半導体製造装置（SPE）事業の業績は売上高が前年度同期比44.2％増の4,379億2,400万円、営業利益は同82.6％増の1,528億8,600万円となった。
ロジック／ファウンドリ向けの設備投資は、最先端プロセスから成熟プロセスまで、広い範囲で堅調に推移した。さらに、DRAM向け設備投資も、2020年末から2021年年初にかけて需給バランスが改善し、前四半期に引き続き、旺盛な投資が継続、前年度にて大きく回復したNAND型フラッシュメモリ向け設備投資も、引き続き高い投資水準となった。このため、同事業は大幅な増収増益となった。アプリケーション別売上高構成比率は、ロジック／ファウンドリ向けが47％、DRAM向けが19％、不揮発性メモリ向けが34％となった。
地域別売上高は日本が同11.6％増の548億6,100万円、北米が同40.7％増の439億1,100万円、欧州が同38.8％増の134億1,100万円、韓国が同42.2％増の953億400万円、台湾が同23.4％増の628億5,300万円、中国が同107.8％増の739億5,700万円、東南アジア・その他地域の売上高は約3倍増の138億9,700万円となった。
FPD製造装置事業の同期売上高は前年度比27.9％増の140億9,000万円、営業利益は同20.6％減の16億6,600万円となった。テレビ用大型液晶パネル向け設備投資が一巡したことにより、FPD TFTアレイ向け装置市場が減速した。しかし、中小型有機EL（OLED）パネル向け投資は前四半期に引き続き、高いレベルで推移し、その結果増収となった。
その他事業の売上高は62億3,400万円、営業利益は1億3,100万円となった。
SPE、FPD事業中のフィールドソリューション事業売上高は前年度比13.7％増の952億円となっている。
2021年度通期では、売上高が前年度比32.2％増の1兆8,500億円、営業利益は同58.4％増の5,080億円、純利益は同52.3％増の3,700億円に拡大すると予想している。SPE事業については、前年度比36.3％増の1兆7,930億円の売り上げを計画している。FPD装置については、同32.0％減の570億円にまで低下する見通しである。