Tag Archives: エッチング装置

Lam Research、Si深堀用の新型エッチング装置を発表

米Lam Research社は2021年12月7日、TSVやイメージセンサ、各種パワーデバイスシリコン深堀プロセスに対応した新エッチング装置「Syndion GP」を発表した。新製品は同社のDSiE（Deep Si Et…

Written on 12月 14, 2021 at 11:31 AM, by global-admin

東京エレクトロンは2021年9月22日、子会社である東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）の本社工場敷地内に建設中であった「宮城技術革新センター」を竣工したことを発表した（着工は2020年8月）。新施設は、地上4階建てで、…

Written on 9月 27, 2021 at 7:45 PM, by global-admin

東京エレクトロン(TEL)は2021年3月10日、第6世代(1500×1850ｍｍ)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800…

Written on 3月 15, 2021 at 3:07 PM, by global-admin

ダイキン工業は、韓国の半導体製造装置メーカー（ガス供給装置）のC&Gハイテックと合弁会社を設立し、40億円を投じてドライエッチング向けガスを製造する工場を忠清南道に設立する。ダイキン工業は、これまでは日本から海…

Written on 1月 25, 2021 at 10:15 AM, by global-admin