東京エレクトロンは2021年9月22日、子会社である東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）の本社工場敷地内に建設中であった「宮城技術革新センター」を竣工したことを発表した（着工は2020年8月）。新施設は、地上4階建てで、延べ床面積は1万9,400m²で、建築面積は7,400m²となる。1階にはパートナー企業との共創空間として利用できるラボエリアと、顧客のトレーニングセンターを設け、1階から2階にかけてはオープンイノベーションエリアを設けている。この宮城工場は東京エレクトロンのエッチング装置の製造、開発拠点である。新施設の稼働によって、協力企業とのより深い連携による革新的な技術の創出と、生産性向上の推進を図っていくものと見られる。