東京エレクトロンは7月8日、新型の枚葉式成膜装置とEUV露光工程向けガスクラスタービーム装置を発表した。製品ラインナップを大きく拡充し、多様化する顧客のニーズに対応する。 新型の枚葉式成膜装置としては、「Episode1…
Written on 7月 16, 2024 at 9:46 AM, by global-admin
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半導体製造装置で世界最大手の米Applied Materials(AMAT)社は2022年4月21日、EUVリソグラフィ向けの新技術、GAA（Gate All Around）構造向けの新しいプロセス技術を発表した。 EU…
Written on 4月 26, 2022 at 12:04 PM, by global-admin
Tags: AMAT, エッチング装置, 成膜装置