Tag Archives: 成膜装置
東京エレクトロン、新たな枚葉式成膜装置とEUV露光による微細工程向けガスクラスタービーム装置を発表
東京エレクトロンは7月8日、新型の枚葉式成膜装置とEUV露光工程向けガスクラスタービーム装置を発表した。製品ラインナップを大きく拡充し、多様化する顧客のニーズに対応する。 新型の枚葉式成膜装置としては、「Episode1…
AMAT、EUV向け、GAA構造向けの新技術を発表
半導体製造装置で世界最大手の米Applied Materials(AMAT)社は2022年4月21日、EUVリソグラフィ向けの新技術、GAA（Gate All Around）構造向けの新しいプロセス技術を発表した。 EU…