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Tag Archives: エッチング装置

ダイキン、韓国の製造装置メーカーと合弁会社設立、エッチングガス供給へ

ダイキン工業は、韓国の半導体製造装置メーカー(ガス供給装置)のC&Gハイテックと合弁会社を設立し、40億円を投じてドライエッチング向けガスを製造する工場を忠清南道に設立する。 ダイキン工業は、これまでは日本から海…

AMAT、最先端デバイスに向けてエッチング装置の新製品を発表

米Applied Materials(AMAT)社は2020年8月7日、エッチング装置Centris Sym3の新製品としてコンダクタエッチング装置Sym3 Y を発表した。同装置は革新的なRFパルシング技術を搭載、きわ…

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