米Applied Materials（AMAT）社は2020年8月7日、エッチング装置Centris Sym3の新製品としてコンダクタエッチング装置Sym3 Y を発表した。同装置は革新的なRFパルシング技術を搭載、きわ…
Written on 8月 18, 2020 at 11:06 AM, by global-admin
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Tags: AMAT, エッチング装置, 半導体製造装置, 新製品
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