韓国の大手半導体製造装置メーカであるSEMESは2025年4月7日、次世代フッ化クリプトン(KrF)コータ/デベロッパ「オメガプライム」を開発、顧客の品質テストを通過したと発表した。

コータ/デベロッパは現在、日本の東京エレクトロンが約90%のシェアを誇る。韓国の企業としてはSEMESが唯一製造しており、これまでもKrFコータ/デベロッパをはじめ、フッ化アルゴンイマージョン(ArF-i)装置などを開発・製造してきた。同社は2024年6月にもArF-iプロセス向けコータ/デベロッパ「オメガプライム」を発表しており、今回、同じシリーズの新製品として、KrF対応装置を開発した。

同社が今回開発した「オメガプライム」は3D NAND向けのWLPAD(Word Line Pad)工程に対応が可能なうえ、時間当りのウエーハの処理能力も20%以上向上したという。また、自動補正および自動化システムを適用することで、歩留まりの向上と品質の向上に貢献するとした。

同社のチャン・セヨン フォトチーム長は「オメガプライムの開発により、今後、輸入代替効果が大きくなると期待している」と述べた。

なお、販売開始時期については不明だが、顧客のテストに通過しているため、間もなくであるとみられる。