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Tag Archives: コータ・デベロッパ

韓SEMES、ArF-i向けコータ/デベロッパを韓国初の量産化

韓国・サムスン電子の子会社で半導体製造装置を手掛けるSEMESは6月24日、それまで全て輸入に頼っていたフッ化アルゴンイマージョン(ArF-i)フォトプロセス用トラック装置「オメガプライム」を韓国内で初めて量産化したと発…