Tag Archives: FPD製造装置

ニコン、第8世代の高精細パネル対応FPD露光装置を発売

ニコンは2022年3月24日、多様な高精細パネルの生産が可能な、第8世代基板サイズ（2,200mm×2,500mm）に対応したFPD露光装置「FX-88S」を発売した。「FX-88S」には、第6世代基板対応の「FX-6…

Written on 3月 29, 2022 at 1:41 PM, by global-admin

東京エレクトロンは2021年12月8日、第8世代基板のフラットパネルディスプレイ(FPD）向けに新チャンバーPICP Proを搭載した「Impressio 2400 PICP Pro」の販売開始を発表した。同装置は第6…

Written on 12月 14, 2021 at 11:32 AM, by global-admin

東京エレクトロン(TEL)は2021年3月10日、第6世代(1500×1850ｍｍ)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800…

Written on 3月 15, 2021 at 3:07 PM, by global-admin

住友精密工業は2020年9月16日、2021 年3月末をもって、液晶製造装置事業から撤退することを発表した。同社では現在、液晶製造向けに洗浄装置、ウェットプロセス装置を提供しているが、現在に至る厳しい事業環境に鑑み、撤退…

Written on 9月 23, 2020 at 6:42 PM, by global-admin