東京エレクトロンは2021年12月8日、第8世代基板のフラットパネルディスプレイ(FPD）向けに新チャンバーPICP Proを搭載した「Impressio 2400 PICP Pro」の販売開始を発表した。
同装置は第6世代向けで販売実績があり、歩留まりの向上や量産安定性を実現するプラズマモジュールPICP Proを大型化し、第8世代向けのPICP Proを開発した。独自開発のPICP 高密度プラズマ源による高精度なエッチング性能に加え、プラズマ空間の生成エリアを制御することが可能な新機能により、メンテナンス周期や歩留まりに影響するパーティクル発生を抑制でき、従来のPICPよりランニングコストを削減することができる。
第8世代の基板サイズ（単位：mm）は、2,160×2,400、2,200×2,500、2,250×2,610、2,290×2,620などを対象としている。