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Tag Archives: 東京エレクトロン

東京エレクトロン、子会社が新規開発棟を建設へ

東京エレクトロンは、製造子会社の東京エレクトロンテクノロジーソリューションが、山梨県韮崎市の穂坂事業所に開発棟を建設することを発表した。半導体需要の拡大に対応するためであると説明している。新棟は地上4階、地下1階を備え、…

経済産業省、先端半導体製造技術開発企業にキヤノン、TEL、SCREEN、産総研を指定

経済産業省は、2021年3月23日、「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」内の「研究開発項目②先端半導体製造技術の開発(助成)」実施者の公募を行い、実施体制が決定した。 今回採択された事業は、先端半導体製造プ…

東京エレクトロン、高精細FPD向けに新エッチング装置を発売

東京エレクトロン(TEL)は2021年3月10日、第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800…

東京エレクトロン、エッチング装置向け新プラットフォームを発売

東京エレクトロンは2021年1月14日、次世代エッチング装置向けプラットフォームEpisode ULの販売開始を発表した。 Episode ULは、4チャンバから12チャンバまでフレキシブルに搭載チャンバ数を選択すること…

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