経済産業省は、2021年3月23日、「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」内の「研究開発項目②先端半導体製造技術の開発(助成)」実施者の公募を行い、実施体制が決定した。 今回採択された事業は、先端半導体製造プ…
Written on 3月 25, 2021 at 10:54 AM, by global-admin
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東京エレクトロン(TEL)は2021年3月10日、第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800…
Written on 3月 15, 2021 at 3:07 PM, by global-admin
Tags: FPD製造装置, エッチング装置, 東京エレクトロン
東京エレクトロンは2021年1月14日、次世代エッチング装置向けプラットフォームEpisode ULの販売開始を発表した。 Episode ULは、4チャンバから12チャンバまでフレキシブルに搭載チャンバ数を選択すること…
Written on 1月 18, 2021 at 6:50 PM, by global-admin
Tags: 新製品, 東京エレクトロン
東京エレクトロンは2020年10月29日、2021年3月期の第2四半期(2020年7〜9月)、上期(2020年4月〜9月)業績を発表した。第2四半期の全社売上高は前年度同期比21.0%増の3,533億円、営業利益は同22…
Written on 11月 17, 2020 at 9:32 AM, by global-admin
Tags: 半導体製造装置, 東京エレクトロン, 決算
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