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Monthly Archives: 6月 2024

東京エレクトロン・フジキン・TMEICの3社、成膜プロセスにおけるオゾンガス濃度を管理する新型モニターを開発

Written on 6月 4, 2024 at 9:38 AM, by

東京エレクトロン、フジキン、TMEICの3社は5月31日、半導体製造工程の成膜プロセスにおけるオゾンガス濃度を管理する新型モニターを開発したと発表した。 成膜プロセスでは、各種酸化膜形成等にオゾンガスが使用されており、オ…

ソニーセミコンダクタソリューションズ、熊本県合志市にイメージセンサーの新工場を建設へ

Written on 6月 4, 2024 at 9:37 AM, by

ソニーグループの半導体子会社、ソニーセミコンダクタソリューションズは5月31日、熊本県合志市に新工場を建設すると明らかにした。同社の主力製品であるイメージセンサーを製造する。 同社は2023年5月の事業説明会において、熊…

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